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高温可変雰囲気炉
SCNシリーズ

酸化雰囲気に対応可能な雰囲気制御炉
■特徴

・ 1700℃まで使用可能
・ 温度分布±5℃(1700℃)の優れた均熱性
・ 水素ガスを含む各種ガス雰囲気の使用可能
・ 酸化雰囲気での使用可能
・ 二重壁水冷ジャケット使用(コンパクト設計)
■カスタマイズ仕様

・ 脱脂機能を追加し脱脂・焼成炉へ機能アップ
・ 炉内酸素濃度計の装備が可能

高温可変雰囲気炉
高温可変雰囲気炉外観
■用途

・ 液晶
  液晶材料(ターゲット材)の脱脂、焼成
・ 半導体、鉄鋼、非鉄金属、石油化学、他
  セラミックス、新素材の焼成
■主な仕様

型式 SCN 20×20×20 SCN 40×40×40 SCN 60×60×60
炉内寸法 200W×200H
×200D
400W×400H
×400D
600W×600H
×600D
使用温度 1700℃(MAX)
雰囲気 大気、酸素、不活性ガス、水素(温度条件あり)
真空度 10Pa
ヒーター MoSi2(二珪化モリブデン(Mo))
(単位mm)

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