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高温可変雰囲気炉
SCNシリーズ
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酸化雰囲気に対応可能な雰囲気制御炉 |
■特徴
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・ 1700℃まで使用可能
・ 温度分布±5℃(1700℃)の優れた均熱性
・ 水素ガスを含む各種ガス雰囲気の使用可能
・ 酸化雰囲気での使用可能
・ 二重壁水冷ジャケット使用(コンパクト設計)
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■カスタマイズ仕様
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・ 脱脂機能を追加し脱脂・焼成炉へ機能アップ
・ 炉内酸素濃度計の装備が可能
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高温可変雰囲気炉外観
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■用途
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・ 液晶
液晶材料(ターゲット材)の脱脂、焼成
・ 半導体、鉄鋼、非鉄金属、石油化学、他
セラミックス、新素材の焼成
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■主な仕様
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型式 |
SCN 20×20×20 |
SCN 40×40×40 |
SCN 60×60×60 |
炉内寸法 |
200W×200H
×200D |
400W×400H
×400D |
600W×600H
×600D |
使用温度 |
1700℃(MAX) |
雰囲気 |
大気、酸素、不活性ガス、水素(温度条件あり) |
真空度 |
10Pa |
ヒーター |
MoSi2(二珪化モリブデン(Mo)) |
(単位mm)
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お問い合わせ |
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