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小型真空メタル炉
ＦＤBシリーズ
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| コンパクト設計で低価格を実現 |
■特徴
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・ 二重壁水冷ジャケットと炉体・制御盤一体構造によるコンパクト設計
・ メタル製ヒーター及びヒートシールド使用による急速加熱・急速冷却が可能
・ コンタミが少なくクリーンな雰囲気をキープ
・ 高真空（１０−５Ｐａ）対応が可能
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■カスタマイズ仕様
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・ 高真空（１０−５Ｐａ）仕様
・ ターボ分子ポンプ仕様
・ 全自動化による無人運転
・ チラーユニットの追加
・ 安全回路のアップグレード
・ インナーケースの追加
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小型真空メタル炉外観
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■用途
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・ 半導体、化学
セラミックス部品の焼成
・ 液晶
液晶ガラス（大型ディスプレー用）硬化処理
・ ナノテクノロジー関連
ナノ材料（炭素材、他）の焼成
・ IT
石英レンズ、レーザー用部品の焼成
・ 自動車
セラミックス、新素材の焼成
・ 鉄鋼
金属、セラミックス、複合材の焼成
・ ガラス、セメント
ガラス、新素材の焼成
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■主な仕様
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| 型式 |
FDB 14×14×17 |
| 炉内寸法 |
140W×140H×170L |
| 使用温度 |
1800℃（MAX） |
| 雰囲気 |
真空、不活性ガス（N2 , Ar , He,）、水素（温度条件あり） |
| 圧力 |
×10-3Pa, 0.014Mpa（常温時） |
| ヒーター |
モリブデン(Mo)／タングステン(W) |
（単位mm）
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| お問い合わせ |
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