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加圧高温雰囲気炉
SCOシリーズ
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試料品質重視の焼成スタイル |
■特徴
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・ 1700℃まで使用可能
・ 温度分布が±5℃(1700℃)の優れた均熱性
・ 各種ガス雰囲気での使用可能
・ 雰囲気ガス圧 : Max0.99MPa(9.9kg/cm2)
・ シンプルデザインで操作性抜群
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■カスタマイズ仕様
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・ 脱脂機能を追加し脱脂・焼成炉へ機能アップ
・ 排ガス処理装置の追加
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加圧高温雰囲気炉外観
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■用途
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・ 半導体、化学、鉄鋼、他
高密度の新素材及びセラミックスの加熱・加圧成形
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■主な仕様
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型式 |
SCO 15×15×20 |
SCO 20×20×20 |
SCO 40×40×40 |
炉内寸法 |
150W×150H×200L |
200W×200H×200L |
400W×400W×400L |
使用温度 |
1700℃(MAX) |
雰囲気 |
大気、酸素、不活性ガス(N2、Ar、He) |
圧力 |
Vacuum〜0.99Mpa(9.9kg/cm2) |
ヒーター |
二珪化モリブデン(MoSi2) |
(単位mm)
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お問い合わせ |
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